1.  开空压机，观察压力表，高于3.5Kg/cm；开循环水系统，压力为4Psi，温度为20度；

2.  开电源，使之稳压在220V以内。

3.  开电器框上的电源，使整个操作框都处在工作状态。

4.  在主操作电脑界面上点开XL Control图标，然后在电镜控制面板上开真空电源（Power Vacum），机械泵自动启动，待Vac灯亮时，样品室进入高真空状态，可以进行操作。

5.  根据不同材质的样品选定：工作电压（HV）、束斑尺寸（Spot Size），然后加高压至工作电压。

6.  调亮度与对比度，选择合适的放大倍数，仔细调节电镜电流大小，使得图像聚焦清楚。

7.  照相或打印，存盘。