一、主要功能及技术参数
1.主要功能
（2）40倍～30万倍扫描图像观察
（4）进行线扫描和面扫描分析
2.主要技术参数
（1） 分析元素：5B - 92U；
（2） 分析精度：主元素（含量 > 5%）：≤1%；次要元素（含量～1%）：≤5%；
（3） 图象分辨率：二次电子像：≤5nm（LaB6枪）；背散射电子像：≤20nm（15keV）。
二、操作规程
1. 打开主机电源、电脑电源和水箱电源
2. 打开Main Power, Vacuum Power and OP Power
3. 打开电脑和EPMA软件
4. 加高压、 调灯丝饱和度
5. 调GUN Shift and Tilt
6. 调OL Aperture
7. 装入分析样品，设置适宜的实验条件进行样品分析
8. 实验结束后，先关软件，再关电脑，最后关OP Power
三、注意事项
1. LaB6灯丝一定要在显微镜下调试居中后，才可以装入电子枪内进行工作；
2. 突然断电后，对于LaB6灯丝在真空度达到要求后，需要进行手动加高压；
3. 将样品装入样品室时样品推拉杆应该到位。