一、主要功能及技术参数
1.离子枪加速电压≤6KeV，并可调；
2.减薄离子束轰击入射角可调，其范围在-10~10度之间；
3.离子束轰击位置可以精确调节；
4.真空系统由无油真空泵构成（以免污染样品）；
5.断电时应能实现自动保护功能，以实现自动保护真空系统和其相关机电部件及样品；
6.设备中包含减薄器，冲孔仪，超声波切片机；
7.供电部件与220V供电系统相兼容。
二、操作规程
1.将预磨好的透射样品（厚度小于80um，直径3mm）粘贴至凹坑仪，对其进行机械减薄至10um左右；
2.将凹坑完成后的样品放置入离子减薄仪中，根据样品状态、种类和性质等选择合适的加速电压和角度，采用离子束轰击样品表面，直至穿孔。
三、注意事项
1.样品放置前离子减薄仪应抽真空处理；
2.取出样品前应当先待样品台完全升起后在破真空开舱门；
3.使用凹坑仪应当轻拿轻放。